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华为公开四重曝光工艺专利,提升芯片制造精度

华为近期公开了一项关于四重曝光工艺的专利,这一技术有望显著提高芯片制造的精度与效率。四重曝光工艺是一种先进的微细加工技术,通过增加 浏览全文>>